SEMI认证的各类安全标准

SEMI标准简介：

SEMI(半导体设备与材料的国际性组织)是半导体工业的全球执行联盟，SEMI之下的安全工作小組为了降低机械危害的风险，制定了一套适用于半导及显示器材料和制造设备的全球性标准和法规，适用于所有用于芯片制造、量测、组装和测试的设备,成为半导体业界对设备系統的必备的规格要求。

SEMI S2认证和遵守法规的途径：

对于制造商而言，SEMI安全的核心是S2，即《半导体制造设备的环境，健康和安全指南》。

实际上，其他产品安全准则可以视为支持S2。面向职业健康和安全的指南通常与制造商无关。

SEMI S2认证指南是由SEMI行业的领导者制定的，以确保每台设备都符合法规要求，并经过严格的安全标准检查。主要包括消防，电气危险防护，减轻机械危险，化学，辐射，噪声和人体工程学危险，通风要求，紧急停机程序，排气规格，危险警告警报和标签，文件要求等。

S2评估通常是买家作为保障的要求，并且可以作为出售的条件。

SEMI常见安全标准：

SEMI标准中有材料（M系列）、设备（F系列）、平板显示器（D系列）、跟踪性（T系列）等，其中S系列规定了环境健康安全（EHS）的要求。

SEMI S1 装置安全标签   Safety Guideline for Visual Hazard Alerts

SEMI S2 半导体生产装置的环境、健康、安全Safety Guidelines for Semiconductor Manufacturing Equipment

SEMI S3 热化学槽的安全性 Safety Guidelines for Heated Chemical Baths

SEMI S4 橱柜收纳高压气筒的隔离／分离Safety Guideline for the Segregation/ Separation of Gas Cylinders Contained in Cabinets

SEMI S5 流量限制设备Safety Guideline for Flow Limiting Devices

SEMI S6 换气Safety Guideline for Ventilation

SEMI S7 半导体生产装置的环境、健康、及安全性（ESH）评价Safety Guidelines for Environmental,Safety and Health Evaluation of Semiconductor Manufacturing Equipment

SEMI S8 半导体生产装置的人机工程学Safety Guidelines for Ergonomics/Human Factors Engineering of Semiconductor Manufacturing Equipment

SEMI S9  半导体生产装置的电气设计验证试验Electrical Test Methods for Semiconductor Manufacturing Equipment

SEMI S10 风险核查Safety Guideline for Risk Assessment

SEMI S11 半导体生产装置的小环境的环境、安全性及健康Environmental, Safety, and Health Guidelines for Semiconductor Manufacturing Equipment Minienvironments

SEMI S12 装置的去污Guidelines for Equipment Decontamination

SEMI S13 半导体生产装置的操作及维护手册Safety Guidelines for Operation and Maintenance Manuals Used with Semiconductor Manufacturing Equipment

SEMI S14 对半导体生产装置的火灾风险评估和降低Safety Guidelines for Fire Risk Assessment and Mitigation for Semiconductor Manufacturing Equipment

SEMI S15 有毒及易燃气体的检测系统评价Safety Guidelines for the Evaluation of Toxic and Flammable Gas Detection Systems

SEMI F47 电压瞬变能力规范 Voltage Sag Standard

SEMI认证办理：

沃证（VIACERT）SEMI专家团队可以帮助企业高效地解决半导体设备的安全问题，助力半导体企业满足最新的SEMI评估要求并取得SEMI认可报告，顺利打开半导体市场。